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控制青島市凈化車間的溫濕度！

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控制青島市凈化車間的溫濕度！

發布日期：2021-10-26 作者：歐普康 點擊：

青島市凈化車間的溫度和濕度主要根據工藝要求確定，但在滿足工藝要求時，應考慮人的舒服度。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫度和濕度的要求越來越嚴格。以后會列出具體工藝對溫度的要求，但作為一般原則，由于加工精度越來越精細，對溫度波動范圍的要求也越來越小。例如，在大規模集成電路生產的光刻曝光過程中，玻璃和硅片作為掩膜板材料的熱膨脹系數差異越來越小。

硅片直徑100um，溫度上升1度，導致0.24um線性膨脹，所以要有0.1度的恒溫，濕度值一般較低，因為人出汗后會污染產品，尤其是怕鈉的半導青島市凈化車間，車間溫度不能超過25度，濕度過高造成的問題更多。當相對濕度高于55%時，冷卻水管壁會結露。如果發生在靜密裝置或電路中，會發生各種事故。當相對濕度為50%時，容易生銹。此外，當濕度過高時，附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學吸附，難以去除。相對濕度越高，粘附越難去除，但當相對濕度低于30%時，由于靜電，顆粒容易吸附在表面，大量半導體器件容易穿透。硅片生產的良好濕度范圍為35-45%。

在青島市凈化車間的基礎設施建設中，要利用好上述方法，從設計到施工，注重效率和產品質量，在gao效的前提下進行高質量的工程建設。

凈化車間

本文網址：http://www.ytayta.com/news/589.html

關鍵詞：青島凈化工程

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