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控制青島市凈化車間的溫濕度!

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控制青島市凈化車間的溫濕度!

發布日期:2021-10-26 作者:歐普康 點擊:

青島市凈化車間的溫度和濕度主要根據工藝要求確定,但在滿足工藝要求時,應考慮人的舒服度。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫度和濕度的要求越來越嚴格。以后會列出具體工藝對溫度的要求,但作為一般原則,由于加工精度越來越精細,對溫度波動范圍的要求也越來越小。例如,在大規模集成電路生產的光刻曝光過程中,玻璃和硅片作為掩膜板材料的熱膨脹系數差異越來越小。

硅片直徑100um,溫度上升1度,導致0.24um線性膨脹,所以要有0.1度的恒溫,濕度值一般較低,因為人出汗后會污染產品,尤其是怕鈉的半導青島市凈化車間,車間溫度不能超過25度,濕度過高造成的問題更多。當相對濕度高于55%時,冷卻水管壁會結露。如果發生在靜密裝置或電路中,會發生各種事故。當相對濕度為50%時,容易生銹。此外,當濕度過高時,附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學吸附,難以去除。相對濕度越高,粘附越難去除,但當相對濕度低于30%時,由于靜電,顆粒容易吸附在表面,大量半導體器件容易穿透。硅片生產的良好濕度范圍為35-45%。

在青島市凈化車間的基礎設施建設中,要利用好上述方法,從設計到施工,注重效率和產品質量,在gao效的前提下進行高質量的工程建設。

凈化車間

本文網址:http://www.ytayta.com/news/589.html

關鍵詞:青島凈化工程

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